提高半导体制造装置的设计自由度的方法 | 中国
使用超薄型继电器以及门互锁型开关， 创造半导体装置内的空余空间
历经多次改良的装置内部，已经没有多余的空间
为了充分利用洁净室的有限空间，半导体装置需要同时满足 “小型化” 与 “多功能化” 两大需求。但目前，对已接近设计极限的装置再做改良，难度极大。
从现状来看，装置内部已无多余空间可用，设计自由度也大幅降低。虽然从零开始重新设计装置，或许能解决这一问题，但这需要投入大量的精力与时间开展研发工作，成本和周期都难以把控。
半导体制造商的设计工程师们，是否也正在面对这样的设计难题呢？
薄型接口继电器以及薄型安全开关创造设计自由度
要提高装置设计自由度、实现小型化与多功能化，可考虑两个方向：一是变更内部零件的配置位置，减少空间浪费；二是将现有零件替换为更小巧的型号，腾出多余空间。相对而言，后者的实现难度更低。
针对这一需求，爱德克（IDEC）为设计工程师准备了符合期待的产品，尤其推荐两款核心产品：宽度仅 6mm 的薄型接口继电器 “RV8H 型”，以及用于门联锁装置的薄型电磁式安全开关 “HS6E 型”。
其中，“RV8H 型” 虽机身超薄，却具备 6A 的高触点允许电流，能适配高密度安装场景。若将现有继电器替换为 “RV8H 型”，相比爱德克同系列旧款产品，可节省约一半的安装空间。
而 “HS6E 型” 不仅机身超薄，还支持 3 方向安装。其灵活的设置方向能帮助工程师更高效地利用装置内部空间，进一步优化布局。
具备可用于不同用途，拥有功能齐全的小型产品
除了此前推荐的产品，爱德克（IDEC）还准备了多款适配不同性能需求的小型继电器与门互锁开关。
在继电器方面，核心产品包括三类：一是薄型功率继电器 “RJ 系列”，主打高触点允许电流；二是强制导向式继电器 “RF1V 型” 与 “RF2 型”，不仅符合海外标准，还进一步提升了使用安全性。
在门互锁开关方面，则提供非接触安全开关 “HS7A-DMC 型”，可满足特定场景下的互锁需求。
针对您在各类装置设计中遇到的难题，爱德克（IDEC）都能为您推荐适配的产品。若有需求，欢迎随时联系我们。
